激光干涉仪是机床误差测量中具有测量精度高、测量方法相对最完善及技术最成熟的测量工具。目前国内外机床制造商正广泛利用激光干涉仪测量机床的21项几何误差。

图1：机床21项几何误差示意图

机床制造商在实际生产应用中很少能做到全部21项几何误差检测测量。对于机床空间位置精度的检定，国家标准中推荐了沿机床工作的3个方向上，最大行程所围成的4条体对角线进行快速测量的方法，该方法可以准确的反映机床几何精度，并为空间位置误差补偿提供理论指导。

图2：机床体对角线示意图

API品牌的XD Laser激光干涉仪有着高集成度和高精度的技术优势，在测量机床体对角线位置精度上非常简单快捷，无需额外辅助工装夹具，只需要在标准配件的基础上增加一个球形反射镜即可轻松实现对光测量。

图3：XD Laser激光干涉仪对角线测量示意图

XD Laser激光干涉仪亦无需三脚架，主机下面集成了一个带有磁性座的快速安装调整夹具，即使是工作台移动的机床，也可以轻松实现体对角线位置精度测量，调光简单，使用方便，不需要额外添加繁琐的工装夹具。

图4：三坐标体对角线位置精度测量现场

图5：数控机床体对角线位置精度测量现场

图6：API XD Laser激光干涉仪

XD Laser系列激光干涉仪是API公司专利产品，是用于快速测评估机床误差的仪器。XD Laser系列激光干涉仪包括1D、3D、5D、6D型号，可针对用户实际需求选择、进行系统配置和升级，以使用户的投资始终符合自己的需要。

1D型号可测量包括机床体对角线位置精度在内的数控直线轴的线性定位误差，包括定位精度、重复定位精度、和反向间隙；另外,也可测量数控直线轴的移动速度和加速度。

3D型号包含有1D型号的全部功能，同时还能测量数控直线轴的定位直线度误差（XX方向和YY方向）；选购垂直度测量附件后，还能测量两数控直线轴之间的垂直度。

5D型号包含有3D型号的全部功能，同时还能测量数控直线轴的偏摆角和俯仰角；选购相应的附件后，还能测量数控转台分度精度误差。

6D型号包含有5D型号的全部功能，能够一次同时测量数控直线轴的线性定位误差（包括定位精度、重复定位精度、反向间隙）、直线度（XX方向和YY方向）以及垂直度、偏摆角、俯仰角，同时自动测量被测轴的滚动角。

此外，针对科研院所、检测机构、高端制造领域等极致高精度的测量检测需求，API还提供精密型XD Laser激光干涉仪供选择，操作方便、表现卓越！

文章来源：美国自动精密工程公司北京代表处

图片来源：美国自动精密工程公司北京代表处

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责任编辑：朱晓裔

审 核 人：李峥