随着我国工业化进程的深入，真空技术已不再是传统冶金与化工等领域的“辅助角色”，而是成为了半导体、光伏和航空航天等前沿科技产业的核心基石。尤其在芯片制造与硅片生产中，极小的油气污染或压力波动，都可能导致整批精密元件的报废。干式真空泵凭借无油洁净的显著优势，为芯片光刻与硅片镀膜等关键工艺提供了可靠环境保障，成为推动产业升级与高质量发展的重要支撑。

面对半导体等行业对真空泵性能要求的日益提高，国内产业亟需在技术升级与质量突破上同步推进。这片广阔的市场曾长期被国际巨头垄断，国产设备应如何破局？浙江博亚精密机械有限公司（以下简称：博亚精密机械）用八年的创业历程，凭借核心技术突破与精准产品定位，开辟出了一条国产干式真空泵的突围之路。

图1  博亚精密机械创始人兼总经理陆学贵

坚守与破局

博亚精密机械发轫于嘉兴市平湖新埭镇，自2017年成立以来，始终专注于高性能干式真空泵的研发制造，产品涵盖多级罗茨泵、螺杆真空泵等。目前，博亚精密机械的多级罗茨真空泵已实现批量出货，其具备节能、耐粉尘与不易卡死等优势，可替代当前市场上的部分螺杆真空泵产品，致力于成为国内领先的真空系统解决方案提供商。

“2024、2025年我们相继完成两轮融资，2025年营业额预计将达到1.4～1.5亿元。虽然受全球市场波动影响，与预期目标尚有差距，但我们仍将持续加大对半导体领域的投入，”博亚精密机械创始人兼总经理陆学贵在回顾创业历程时这样表示。谈及创业初心，他记忆犹新：“入行其实源于一个契机——当时有客户问我们能否做这类产品。我们调研之后发现市场大多数为国外品牌，当时就想为什么我们不能自己做？”正是这个简单朴实的想法，让他就此开启了一条充满挑战的进口替代之路。

陆学贵坦言，创业第一年，博亚精密机械就投入了近千万元的研发成本，毫不夸张地说确实有些“烧钱”。然而坚持源于信念——做自己喜欢的事，用心做好自己热爱的事，这就是人生最大的快乐。正是这份执着，推动着博亚精密机械在技术攻坚的道路上一步步走到了今天。

目前，博亚精密机械已拥有上百项包含发明、实用新型等在内的知识产权，主导并参与制定了多项国家标准和行业标准。知识产权涵盖整机、制造、检测、控制以及部件等所有相关领域，获得了“平湖上市预备库企业”“嘉兴市高新技术研究开发中心”“浙江省专精特新企业”以及“国家高新技术企业”等荣誉称号。

图2  博亚精密机械工程车间

创新驱动  洁净未来

干式真空泵产品系列覆盖半导体制造的多个关键制程环节，从基础的传输工艺到复杂的刻蚀、沉积工艺，真空环境对产品质量至关重要。博亚精密机械的高性能干式真空泵系列具备洁净无污染、高效节能、维护简便和广泛适用的特点，采用无油设计，能消除油气污染，满足半导体等先进制程对洁净真空环境及颗粒物控制的严苛要求，提供高效、稳定且低能耗的解决方案。

在激烈的市场竞争中，博亚精密机械凭借扎实的技术优势站稳了脚跟。陆学贵在介绍产品时指出，博亚精密机械干式真空泵系列最大的亮点，是将先进转子型线与高效永磁电机深度融合。在实验室环境下，节能比例高达34%；而在客户端实际运行中，整条流水线根据不同工艺，节能效果也稳定在27%～30%，这是一个比较大的进步。尤其在能耗成本日益高昂的今天，这一数据对客户而言意味着巨大的经济效益。

图3  工作人员进行机体装配

在技术性能上，干式真空泵系列表现尤为突出，其极限真空度可达1 Pa以内，这一技术水准远高于国家真空设备质量检验检测中心设定的6 Pa标准。同时，其抽气能力与密封性也实现了显著提升，充分满足了半导体工艺对真空环境稳定性和纯净度的极致要求。 

值得一提的是，博亚精密机械能够取得今天的成就，离不开背后一支富有活力的研发团队。在公司60余名员工中，研发人员占比超过三分之一，达23名。这支团队展现出了超越传统企业的创新活力，始终以技术攻坚为使命。为了持续提升创新能力，博亚精密机械积极探索产学研协同发展路径，目前已与上海应用技术大学等国内多个科研院建立了紧密合作关系，能够有效确保技术研发的前瞻性与实用性。

正如陆学贵所强调的，博亚精密机械始终坚守清晰的产业定位——致力于成为“真空系统的解决专家”，实现高端产品的进口替代。今后，公司将继续通过深化校企合作、大力引进优秀人才等途径，不断积累技术实力，推动核心技术突破。

经过多年的深厚沉淀，博亚精密机械的真空泵系列已在光伏、锂电、半导体和食品消费等多个领域取得了显著技术突破。然而在要求极高的半导体领域，尽管国内干式真空泵产业已取得长足进步，但与国际顶尖水平仍存差距。博亚精密机械正视这一关键短板，未来会继续迎难而上，将半导体领域作为战略攻坚的重心，致力于弥补国产真空技术在这一核心环节的不足。

随着我国“十五五”规划将半导体产业提升至战略核心，真空系统制造商正迎来全新的机遇与挑战。面对这一历史性节点，博亚精密机械将坚守“创新科技，创造洁净世界；自主研发，打造民族品牌”的使命，锐意前行，以技术突破应对行业挑战，致力于在半导体真空技术领域实现国产替代，实现从追随到引领的跨越。

图4  客户现场

结语

从八年前客户的一句询问起步，到如今手握百项专利、成为多个高端制造领域的“专精特新”企业，博亚精密机械的成长轨迹，是中国制造业向高端化与智能化转型升级的一个缩影。它的成长故事印证了一个道理：在高端制造的路上没有捷径，唯有坚守创新的初心，秉持破局的勇气，才能在时代的浪潮中，书写民族品牌的新篇章。