Fuchshofer Präzisionstechnik

现代化的EUV光刻机（极紫外光刻机）是生产高性能微处理器不可或缺的设备，芯片的结构尺寸仅数纳米，这意味着可在微小芯片上集成更多晶体管。非凡的光刻技术最初源自光刻机本身的制造。为在曝光期间实现原子级高精度的重复运动和数百万次定位运动，并可长时间承受热应力，需要使用特殊材料制造光刻机的零部件，例如碳化硅和玻璃陶瓷（Zerodur）材料。

创建于1994年，Fuchshofer Präzisionstechnik公司位于奥地利施蒂里亚州（Styria）艾比斯瓦尔德（Eibiswald），选用DMG MORI超声加工机床精密加工高级硬脆材料的工件。超声加工技术的成功体现在加工能力上，Fuchshofer现有多达14台ULTRASONIC超声加工机床。2024年，为满足半导体行业更高的产能需求，Fuchshofer又安装了另外两台第三代ULTRASONIC 50超声加工机床。

Fuchshofer于2005年安装了首台ULTRASONIC系列超声加工机床。如今，已有14台DMG MORI的超声加工机床

2005年，Fuchshofer第一次购买DMG MORI生产的ULTRASONIC超声加工机床，在此之前，Fuchshofer长期专注于精密加工业务，经验丰富。自那时起，Fuchshofer不断扩大服务领域，如今已包括车削、铣削、磨削和电火花加工。Aaron Reinisch介绍公司的业务领域，他表示：“2017年开始，我们还提供增材制造服务。”Aaron Reinisch负责陶瓷和硬质合金材料部，这些材料的加工主要在超声加工机床上进行。“8年来，半导体行业发展迅猛，为此，我们每年都投资购买加工设备。”Fuchshofer始终选择DMG MORI的ULTRASONIC系列超声加工机床。“我们熟悉这些机床的各个方面，在这些机床上加工可以确保实现我们及我们客户期待的高质量。”

2024年，再次购入两台第三代ULTRASONIC 50超声加工机床

Fuchshofer使用超声加工技术加工技术陶瓷、复合材料和硬质合金，而且达到了高可靠性和高加工精度，并可比肩石英玻璃、玻璃陶瓷（Zerodur）和蓝宝石的加工。超声加工的原理既创新又简单：超声执行器驱动刀具进行高频振动，而且刀具的振动运动与刀具的旋转和直线运动相互叠加。因此，刀具与工件间歇接触，优点之一是材料的切削过程可控，显著降低了微裂纹的风险。

超声加工技术的应用十分广泛，从直径仅ø 0.4 mm的高精度钻孔直到超声磨削和3D轮廓的5轴超声铣削加工。Aaron Reinisch表示：“现在，碳化硅板是我们的主要加工任务。”在光刻机中，晶圆就安装在这些碳化硅板上。“碳化硅的温度性能稳定，在这些碳化硅板上加工细小的冷却道，以便在半导体生产中，显著弱化温度的影响。”

碳化硅的硬度几乎与金刚石相当，因此超声加工需要使用相应的金刚石刀具。Fuchshofer选用Schott和DMQP认证合作伙伴Effgen提供的镀层磨针。Aaron Reinisch解释刀具选择的原因，他表示：“这些自锐刀具的使用寿命可达15小时，而且可修整三次到四次。”可靠性非常高，而且几乎无需人工操作。根据客户的参数要求，碳化硅工件大约需要60个小时加工完成。Aaron Reinisch满意之情溢于言表：“废品率低于1%，事实证明超声加工工艺是理想的工艺。”

金刚石镀层刀具使用寿命更长

Fuchshofer工厂加工设备齐全，选择余地大，可为客户开发理想的加工策略。Aaron Reinisch表示：“我们与客户紧密合作，携手优化加工工艺。”传统数控机床有时铣削工件的效率更高，但有时必须使用超声加工技术。“我们总是综合考虑技术要求与相应加工工艺的优势。”Fuchshofer正在进军新材料，这些材料关乎着未来。Aaron Reinisch以超硬的氮化硅为例介绍说：“氮化硅是半导体行业实用价值很高的材料，但加工难度极大。”我们使用ULTRASONIC系列超声加工机床加工，我们的员工正在研究氮化硅工件的可靠加工方案。“刀具、加工技术和切削参数间的相互关系至关重要。”

在光刻系统中，晶圆安装在碳化硅板上

Aaron Reinisch坚信：“使用新技术和优化现有生产工艺是不断拓宽业务范围的关键。”Fuchshofer技术全面，注重未来成长性行业的项目，其中之一是航空航天行业，并为此获得了认证。多元化的目标行业可保持公司长期经营安全。“技术陶瓷在其它行业的重要性也在提高，我们在半导体行业积累了丰富的经验，这为我们进军新市场创造了条件。”为此，Aaron Reinisch感受到超声加工技术对于未来的重要性：“我们需要更高的加工质量，我们的超声加工能力将继续提高。”

Fuchshofer不仅使用ULTRASONIC超声加工中心，还使用DMG MORI的其它加工中心