INGENIA涂层设备
欧瑞康巴尔查斯涂层（苏州）有限公司 E2-410
INGENIA涂层设备具有精密、灵活、小尺寸炉体、专属涂层与操作便利性等特征，并且可以简化生产流程，缩短周期时间。INGENIA在速度、精度和灵活性上都胜于传统设备，操作简便，结构紧凑，并被赋予了最新的PVD技术成就。
同时，INGENIA设备让使用者能够体验到新的S3p可调节的脉冲增强等离子技术与高强度脉冲磁控溅射解决方案。S3p结合了电弧和溅射技术的优点，高离化率并且几乎没有液滴。涂层极其光滑、致密，适用于大范围的技术应用。S3p使得单独调节功率密度成为可能，为电离开创了空前的尺度。因此，S3p提供了前所未有的涂层结构和性能的优化，允许使用更广泛的涂层材料，并且涂层厚度均匀分布。
INGENIA装备有欧瑞康巴尔查斯专有的通用磁控系统（VMS），这一系统依从了现代电弧技术的需求。VMS拥有无极可变磁场的磁控系统，适用于非常广泛的应用领域。因为它弥补了靶材消耗，VMS保证了固定的涂层时间和顶级涂层质量，显著提高了生产力和成本效益。
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