表示在经过校准的测试长度上，获得的探针尖端与探针轴之间的横向距离L测量值的误差。根据ISO 10360-2 ，在确定长度的测量误差时，需要我们准备量规或是步距规，在机器测量空间的7个位置测量5种不同的长度。每个长度测量3次，共产生的105个测量值，要求测量值与校准值的偏差不得超过MPE（E0），机器的长度测量性能方才是合格的。

表示为MPE(E0)，通常以

MPE(E0)=A + L/K 或是

MPE(E0)=A + F.L/K 来表示。

说到这里只提到准确性，下面再介绍重复性，不过在介绍重复性前，先引入MPE最大允许误差的表弟：MPL，名叫最大允许界限。如果在测试过程中没有确定测量误差，即不需要使用校准样品进行验证实验时，则回使用MPL，重复性区间R0就属于这种情况。那么验证机器时的MPL(R0)如何得到呢？

需要使用在7个位置对5个长度进行3次重复测量所得的长度测量误差，即是上文的E0，将E0的最大值减去最小值。换句话说，我们要得到35个区间，这35个区间由5个长度和七个位置一同分隔，内部是三次没有横向探针偏移，没有额外测量工作的情况下测得的三组数据，我们将其与重复性区间MPL（R0）进行比较，确定其重复精度。

THP即扫描探测误差，指在已知轮廓模式下，扫描的所有四个截面的点，计算径向距离最大值Rmax与最小值Rmin之差。此外，距测试球的校准半径的所有单个径向距离的最大绝对误差不得大于THP的规格值。

扫描测试持续时间：τ，指从距测试球体10 mm的起始位置到距测试球体10 mm的最终位置的四个扫描路径的运行时间。因扫描精度和速度之间相关，所以扫描测试是一种性能测试，测试时必须为四条路径的运行时间指定时间τ。

PFTU：单探针形状误差。使用25个基于高斯最小二乘球面拟合的中心点的球半径距离。该测试通常在所有其他测试之前完成，因为可以通过该测试快速检测出探针系统中可能存在的薄弱环节。

PSTU单探针尺寸误差。通过计算测试球的标定直径与从25个探测点计算出的高斯最小二乘球拟合的直径之差。对于PSTU，最大允许误差未被指定，但是根据ISO 10360-2，该结果可用于得出单向测量和双向测量的比较结果。