掩膜版是微电子制造中使用的图形转移工具或母版,在平板显示、半导体、触控和电路板的制造过程中起着重要作用。它属于精密度较高的定制化产品,在制造完成后,需对其进行严格的精度检验,以验证其与设计要求的一致性。
此次客户需要对大批量的金属框及金属框+掩模版产品进行测量,产品长度范围为500mm-1870mm,宽度范围为600mm-1500mm,测量需求包括产品多点位的平面XY坐标信息、指定点位的高度Z坐标信息以及金属框指定点相对平面的下垂量。
掩膜板产品通常具有较大的尺寸和重量,重量范围在30kg到120kg之间,且其产品特征多,需要使用底光测量方法进行检测。在将这些产品放置在平台上时,需要确保平台没有出现明显的变形,这对于测量平台的承重能力提出了挑战。
思瑞VIEWMAX L是一款具有专用平台并采用特殊尺寸的大行程影像仪,平台四周采用大理石框架,中间搭载玻璃平台,产品可固定在大理石平台上,能够解决产品放置在玻璃平台上产生的变形问题,确保测量的准确性。此外,VIEWMAX L影像仪使用经过PTB认证的专业测量软件PC-DMIS VISION,可以对相同间隔类似的检测特征元素阵列循环,解决大批量相同元素编程耗时难点。
第二步,抓取第一个矩形框,共计4条直线。
a) 构造点,分别构造四条线的相交点;
b) 构造线,构造对角线;
c) 构造点,选择两条对角线,求相交点。
第四步,阵列。
a) 复制需要阵列的元素及尺寸评价
b) 选择“编辑-阵列”
c) 设置偏置距离及偏置次数
d) 选择“编辑-阵列粘贴”
第五步,激光在基准平面四周取四个激光点。
a) 构造平面,选择四个激光点;
b) 建立坐标系,面Z正找正,面为Z原点。
思瑞掩膜版检测方案高效精准,通过底光测量和高精度传感器准确获取产品形状尺寸信息,帮助厂商严格控制质量,保证产品合格。思瑞提供全面技术支持和售后服务,优化制造效率与产品质量,帮助客户获得准确的检测结果和优质的使用体验。
文章来源:思瑞测量
图片来源:思瑞测量
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