具体而言,在技术层面,光栅的抖动指的是光栅停止移动时输出的位置信号噪声量。抖动越低,测量仪的位置控制越稳定,并且电机产生的热量更少。此外,低抖动光栅在低速运行时能提供更平稳的速度控制,对精密测量至关重要。另一方面,光栅的细分误差(SDE)对测量仪进行微观轮廓与形貌测量的能力具有决定性影响。若细分误差过高,将导致测量过程中获取的轮廓数据不准确,直接影响检测结果的可靠性。
针对上述核心指标,雷尼绍提供了差异化的产品选择。ATOM 系列是雷尼绍光栅产品中目前体积最小的一款,提供多种读数头配置,可搭配 20 μm 或 40 μm 栅距的直线栅尺、圆弧栅尺及圆光栅,满足多样化应用需求。其中,ATOM DX 系列更进一步,能直接从读数头输出数字信号,将微型化设计与卓越的信号稳定性、抗污染能力及高可靠性完美结合,为精密测量提供强大支持。
在高端应用场景中,威尔的选择更具针对性。威尔目前正在小批量投产的新款 ITC 系列智能实时跟踪测量仪,选用了雷尼绍 TONiC 系列光栅,并搭配 RELM 系列因瓦合金钢尺(以下简称因钢尺),主要原因在于 TONiC 系列具备极低的细分误差,而RELM因钢尺则提供出色的热稳定性,完美应对复杂的车间环境。ITC 系列高端测量仪专为大量程轮廓测量而设计,既要满足微观轮廓形貌的高精度测量,又需兼顾大量程尺寸测量。低细分误差的光栅确保微观测量精度,而因钢尺的热稳定性则保障大量程测量的一致性。
这两项核心优势,源自雷尼绍扎实的材料与工艺功底。雷尼绍 RELM 系列因钢尺采用坚固耐用的 ZeroMet 材料制造,热膨胀系数仅 0.75 ± 0.35 μm/m/°C,几乎接近零,并在 1 m 范围内实现 ±1 μm 的定位精度,确保在整个工作温度范围内保持高精度。TONiC 光栅则以卓越的信号稳定性和低细分误差著称,SDE 低至 ±30 nm,为精密测量提供强大保障。
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