微制造是指一种高效、绿色、高精度微制造新技术,用于加工各种3D形状的微型零件。目前,在欧盟的资助下,由德国、意大利等国家的大学、研究院所和企业组成的研究小组已经取得相关成果。
事实上,微型模具并不一定都是体积微小,传统的体积大但具有微结构的模具也称作微型模具。微型模具的制造难点在于微小型腔或微小凸凹结构的加工。近年来,微型模具加工技术发展迅速,种类繁多。按其加工原理不同可分为三大类:①光制作技术,如LIGA技术、UV-LIGA技术、电子束光刻技术、激光加工技术;②腐蚀技术,如刻蚀技术;③微机械加工技术,如微细车削、微细铣削、微细磨削、微细电火花等加工方法。
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