因其极低的位置噪声和极高的细分能力, 主要应用于高端高精度的定位使用。具有Zerodur 光栅、零膨胀、分辨率低至31.25 pm、安装尺寸与常规光栅尺LC/LF/LS 100相同等主要特点。技术参数为:
• 精度等级:± 3 μm;
• 分辨率至1 nm;
• EnDat2.2-22接口(如Delta Tau),或发那科、三菱等对应接口;
• 测量长度:140mm至 3 040 mm。
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2026-10-19
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