三丰株式会社自1998年始在新一代三坐标测量机发展中，研发并推出了超高精度CNC三坐标测量机LEGEX系列，满足了全球市场对高精度测量的需求，获得了世界性好评。

然而，近年来随着科学产业技术的高水平化、高性能化的加速发展，特别是汽车、航空、医疗器械产业中对于超高精密模具、零部件及非球面镜头等的测量要求、研究机构的标准计量器具所带来的附加值等、不断的在高精度的生产环境中追求提升更高水平的产品品质。为满足市场需求，三丰开始对核心技术展开新一轮的研究设计，排除所有可能产生测量误差的因素，终于推出了凌驾于以往所有机型的新一代超高精度CNC三坐标测量机LEGEX系列，其长度测量误差可达到E0,MPE(0.28+L/1000)  μm。

在制造业日益进步的未来，三丰不断地以精密测量为社会作贡献。

LEGEX系列历经多年技术经验积累，决定继续采用技术成熟并且最适用于高精度测量的固定桥式工作台移动结构。其可最大程度消除静态和动态可能产生的误差因素、实现测量精度0.28   μm。

三丰最新开发了能够使驱动部在驱动时产生的振动及变形最小化的内部构造。更新了自行开发的控制装置，通过将新算法应用于精细的控制技术，从而最大程度消除静态和动态可能产生的误差因素，实现高精度化。窄范围直线度得到改善，提高了扫描测量精度。考虑到热稳定性的构造设计，LEGEX系列采用热膨胀系数几乎为零的高精度微晶玻璃光栅尺和温度补偿功能，确保18～22℃温度范围内的精度。

LEGEX系列的主体基座采用球状石墨铸铁(球墨铸铁)的密闭式结构，实现了高刚性、高振动衰减性。运用FEM构造模拟分析系统进行了彻底的应力分析，最大限度减小机器操作产生的变形，并确保了良好的几何运动精度。抑制了主体结构以及各轴进给机构的高刚性化误差，缩短作业周期。各轴进给机构进一步提升了高刚性。采用高刚性轴承使各轴在最后精加工阶段采用人工研磨工艺，以确保窄范围直线度的精度。

LEGEX系列采用热对称结构和主体重要部分的一体化结构，使机器不易受环境温度变化的影响，并有效抑制测量空间的变化。在此环境温度下有利于提升机器的稳定性，不需另行配备控制温度的超精密恒温设备，大大减少了客户在购入设备及维护时的成本。为对应外部振动标准配置了防震台。

除接触式的扫描测头以外，可通过利用种类丰富的测头选件来对应各种测量需求，例如使用非接触式激光测头对立体形状的评价、或使用影像测头对小直径/小型零件的测量等。